超純水對芯片企業(yè)有多重要？
發(fā)布時間：2022-11-22
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你知道生產(chǎn)芯片的企業(yè)一天要用多少超純水嗎？據(jù)了解臺積電三納米工廠一天用水量高達十三萬噸。
芯片生產(chǎn)的過程中有一個非常重要的步驟，需要利用純水沖洗，而這個純水的來源就是凈化而來的，因此需要消耗大量的水資源。而越是工藝制程好的芯片，所需消耗的水資源就越多。
對于這個沖洗的環(huán)節(jié)，我們不得不提到它的用水標(biāo)準。普通的自來水在芯片沖洗過程中應(yīng)用是絕對不可以的，我們需要用到的是超純水。超純水是指電阻率達到18 MΩ*cm(25℃)的水。
由于芯片生產(chǎn)需要用到大量的超純水，超純水的制備又成為了關(guān)鍵問題。超純水設(shè)備能夠連續(xù)穩(wěn)定地制備高質(zhì)量的超純水，不會因樹脂再生而停止運行。
